در یک کندوپاش نامتعادل مگنترون، پلاسما نیز به درون بسترکشیده می شود و یون های آرگون نیز لایه نازک در حال رشد را بمباران می کنند. … حضور الکترون ها در اطراف بستر منجر به یونیزاسیون اتم های گاز خنثی و نفوذ پلاسما به این ناحیه می شود.
چرا مگنترون می کند؟
کندوپاش مگنترون از میدان مغناطیسی بسته برای به دام انداختن الکترون ها استفاده می کند، کارایی فرآیند یونیزاسیون اولیه را افزایش می دهد و پلاسما را در فشارهای پایین تر ایجاد می کند، و ادغام گاز پس زمینه در رشد را کاهش می دهد. تلفات فیلم و انرژی در اتم پراکنده شده در اثر برخورد گاز.
چه چیزی می تواند برای کندوپاش مگنترون استفاده شود؟
5 رسوب کندوپاش مگنترون. کندوپاش مگنترون یک تکنیک پوشش خلاء با سرعت بالا است که امکان رسوب بسیاری از انواع مواد، از جمله فلزات و سرامیک را بر روی بسیاری از انواع مواد زیرلایه با استفاده از یک ماده مغناطیسی خاص فراهم می کند. میدانی به هدف کندوپاش دیود اعمال می شود.
کندوپاش مگنترون نامتعادل میدان بسته چیست؟
سیستم آبکاری یونی پراکنده مگنترون نامتعادل میدان بسته که توسط Teer Coatings Ltd توسعه یافته است، شرایط رسوب‌گذاری بهینه‌شده‌ای را ایجاد می‌کند که امکان رسوب پوشش‌های متراکم و سخت با چسبندگی عالی را فراهم می‌کند. ترتیبات CFUBMSIP توسط پتنت های اعطا شده به Teer Coatings Ltd. پوشش داده می شود
مگنترون نامتعادل چیست؟
مگنترون ها معمولاً به عنوان "متعادل" یا "نامتعادل" طبقه بندی می شوند. … اگر نقطه صفر نزدیک به سطح هدف باشد، الکترون ها راحت تر می توانند فرار کنند و مگنترون نامتعادل است. طرح های نامتعادل می توانند همزمان با رسوب گذاری لایه نازک را بمباران یونی بالایی ایجاد کنند.
