در مورد لیتوگرافی نیمه هادی (که به آن فوتولیتوگرافی نیز می گویند) سنگ های ما سیلیکون ویفر هستند و الگوهای ما با پلیمر حساس به نور به نام مقاوم نوری نوشته شده اند.
منظور شما از فتولیتوگرافی چیست؟
فتولیتوگرافی که لیتوگرافی نوری یا لیتوگرافی UV نیز نامیده می شود، فرآیندی است که در ریزساخت برای الگوسازی قطعات روی یک لایه نازک یا قسمت عمده زیرلایه (که ویفر نیز نامیده می شود) استفاده می شود.. … این روش می تواند الگوهای بسیار کوچکی به اندازه چند ده نانومتر ایجاد کند.
چرا لیتوگرافی در تولید نیمه هادی استفاده می شود؟
Photolithography فرآیندی است که در ریزساخت برای انتقال الگوهای هندسی به یک فیلم یا بستر استفاده می شود. اشکال و الگوهای هندسی روی یک نیمه هادی ساختارهای پیچیده ای را تشکیل می دهند که به مواد ناخالص، خواص الکتریکی و سیم ها اجازه می دهد مدار را کامل کنند و یک هدف فناوری را برآورده کنند.
هدف از فتولیتوگرافی چیست؟
Photolithography یکی از مهم ترین و آسان ترین روش های میکروساخت است و برای ایجاد الگوهای دقیق در یک ماده استفاده می شود. در این روش، یک شکل یا الگو را می توان از طریق قرار گرفتن انتخابی یک پلیمر حساس به نور در برابر نور فرابنفش حک کرد.
تجهیزات لیتوگرافی نیمه هادی چیست؟
تجهیزات لیتوگرافی نیمه هادی در مرحله نوردهی تراشه نیمه هادی استفاده می شودفرآیند تولید. … تجهیزات لیتوگرافی نیمه هادی از یک لنز پروجکشن برای کاهش الگوی مدار استفاده می کند که روی صفحه اصلی به نام رتیکل نوشته شده است و الگو را روی ویفر قرار می دهد.